主要技術(shù)特點

·工作可靠

   CY-SPX無油真空泵在半導體、航空航天、石油化工、食品藥品、電力、能源、環(huán)保、汽車、分析測試
   儀器等行業(yè)生產(chǎn)線上常年連續(xù)運行，穩(wěn)定可靠，為各行業(yè)生產(chǎn)和科學研究用戶信賴。

·性能優(yōu)良

   對被抽系統(tǒng)無油污染，創(chuàng)造出了潔凈的真空環(huán)境；

   噪音低、振動低、溫升低、密封材料性能優(yōu)異、壽命長達5年，可靠耐用；

   排氣機構(gòu)部件互不接觸，無摩擦，效率高；沒有返油與水蒸汽，也不噴油，節(jié)能環(huán)保；

   極限壓力低至1Pa以下，可以替代油旋片真空泵。

·性價比合理

   價格合理，節(jié)省采購成本；

   運動件無摩擦能耗低，配件質(zhì)優(yōu)價廉，服務及時可靠，節(jié)省運行成本；

   *終產(chǎn)品質(zhì)量好、成品率高、測試指標準確，節(jié)省產(chǎn)品生產(chǎn)成本；

   不需要冷卻水和潤滑油，不需要日常維護，節(jié)省人工費用。

·應用領域

	工業(yè)	半導體	能源石化	食品藥品	科學研究	分析測試
真空封裝 存儲	√	√		√	√
真空爐	√	√			√
排氣臺	√	√			√	√
烘箱/冷凍干燥	√	√	√	√	√
氣體回收/再循環(huán)	√	√	√	√	√	√
制冷/空調(diào)管路抽真空	√
制動/管路抽真空	√	√	√	√	√
激光抽真空	√				√
分子泵前級	√	√		√	√	√
工藝預抽真空	√	√	√	√
鍍膜	√	√			√	√
檢漏	√	√	√		√	√
手套箱	√	√		√	√
質(zhì)譜儀					√	√
電子顯微鏡					√	√
高能束線/加速器					√	√
高真空試驗臺					√
樣品制備					√	√

·主要技術(shù)參數(shù)

型號			CY-SP1000	CY-SP600		CY-SP300		CY-SP150
排氣速度		l/s	16.6	8.7		4.3		2.0
		l/min	996.0	522.0		258.0		120.0
		m3/h	59.8	31.3		15.5		7.2
		cfm	35.8	18.7		9.3		4.3
極限真空度		Pa	≦1.0	≦1.0		≦2.6		≦8.0
		Torr	≦7.5×10-3	≦7.5×10-3		≦1.9×10-2		≦6.0×10-2
		mbar	≦1.0×10-2	≦1.0×10-2		≦2.6×10-2		≦8.0×10-2
		psi	≦1.4×10-4	≦1.4×10-4		≦3.8×10-4		≦1.2×10-3
噪音值		dB(A)	≦63	≦63		≦63		≦57
漏率（排氣口和氣鎮(zhèn)閥關）			1×10-5Pa·m3/s
*大進/排氣壓力		MPa	0.1 /0.13
工作環(huán)境溫度		℃/℉	5～40/41～104
*大水分處理能力		G/h	60					50
電機	輸出功率	kW/hp	1.50/2.00	0.75/1.00		0.55/0.74		0.25/0.33
	工作電壓	VAC	380/220	380/220	220	380/220	220	380/220	220
	轉(zhuǎn)速	rpm	1410
進/排氣口尺寸		mm	KF40/16×2	KF40/16		KF25/16		KF25/16
重量		kg	52	36		32		18
冷卻方式		風冷
其他		帶氣鎮(zhèn)閥