產(chǎn)品分類
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- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
CY-PECVD-450化學(xué)氣相沉積采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù)，能夠利用高能量等離子體促進(jìn)反應(yīng)過(guò)程，有效提升反應(yīng)速度，降低反應(yīng)溫度。適用于在光學(xué)玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂，適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽(yáng)電池器件，可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
詳情介紹：
技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-PECVD-450T-SS |
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真空腔體 |
前開門式，φ300mm X 300mm 不銹鋼材質(zhì) 觀察窗：φ100mm 帶擋板 |
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真空泵組 |
前級(jí)泵：旋片泵 抽速1.1L/s 次級(jí)泵：渦輪分子泵 抽速600L/s |
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極限真空度 |
10-6Pa 三十分鐘內(nèi)可達(dá)到 10-4Pa |
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沉積真空 |
0.133~133Pa，可根據(jù)工藝調(diào)整 |
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射頻電源 |
13.56MHz，500W，自動(dòng)匹配 |
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流量控制 |
質(zhì)量流量計(jì)，默認(rèn) Ar氣 0~200sccm |
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整機(jī)尺寸 |
1100mm x 800mm x1100mm |
