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產品詳情
簡單介紹：
本設備為客戶定制等離子測試設備。設備主要部件為一個電感耦合的等離子發(fā)生器，發(fā)生器能夠在電感線圈內部的石英管內產生等離子體，石英管兩側的法蘭配有觀察窗，用戶可以在觀察窗上觀察實驗現(xiàn)象或者用其他儀器測量相關參數。設備采用觸控屏控制，屏幕集成所有實驗功能，如抽放真空、流量控制、射頻電源調節(jié)等。同時電感線圈采用水冷設計，外殼另有散熱風扇，保證了整套設備長時間工作的穩(wěn)定性。該設備是高校實驗室進行等離子體相關性質研究的必備儀器。
詳情介紹：
技術規(guī)格：
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供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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*大功率 |
1KW |
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耦合方式 |
電感耦合 |
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石英腔體 |
O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm |
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觀察窗尺寸 |
φ30mm |
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真空接口 |
KF16 |
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進氣口接口 |
6.35mm 卡套接頭 |
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質量流量計 |
Ar標定 量程100sccm |
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真空泵 |
雙極旋片真空泵 |
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極限真空度 |
0.1Pa |
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冷卻方式 |
水冷銅管+風冷殼體 |
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射頻電源 |
*大輸出功率300W 自動匹配 頻率13.56MHz |
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整機尺寸 |
560mm X 620mm X 620mm |
