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本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計并配有雙極旋片泵、水冷機、數(shù)字真空計且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實驗。
主要技術參數(shù)：
雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格：
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主要技術參數(shù) |
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雙 溫 區(qū) 管 式 爐 |
顯示模式 |
7英寸觸摸屏 |
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真空控制 |
可通過參數(shù)設置，自動完成抽真空，恒壓工作 |
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爐管材料 |
高純石英 |
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爐管尺寸 |
直徑：50mm，長度1000mm |
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加熱溫區(qū) |
兩溫區(qū) |
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溫區(qū)長度 |
200mm+200mm |
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工作溫度 |
室溫～1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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升溫速率 |
建議10℃/min |
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控溫模式 |
可編程程序控溫 |
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密封方式 |
真空法蘭密封 |
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雙通道質(zhì)量流量計 |
氣體通道 |
兩通道 |
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測量儀器 |
質(zhì)量流量計 |
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A路量程 |
氫氣：0～500SCCM |
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B路量程 |
氬氣：0～1000SCCM |
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連接管道 |
拋光不銹鋼管 |
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氣體緩沖器 |
1000ml |
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工作壓力 |
≦3Mpa |
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工作壓差 |
0.3MPa |
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管道接口 |
6.35mm卡套接頭 |
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真空泵 |
抽氣接口 |
KF25 |
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排氣接口 |
KF25 |
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抽氣速率 |
24立方米/小時 |
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極限真空 |
5.0E-2Pa |
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電機功率 |
1100W |
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電機轉(zhuǎn)速 |
1440轉(zhuǎn)/分鐘 |
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真空計 |
傳感器類型 |
皮拉力 |
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真空量程 |
1.0E-1Pa～1.0E5Pa |
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安裝方式 |
豎直放置 |
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工作電壓 |
DC24V |
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相關配件 |
連接管道 |
KF25波紋管1米長 |
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聚四氟管5米 |
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石英爐管1根 |
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爐管塞子4個 |
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爐鉤1支 |
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防護手套1雙 |
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真空法蘭1套（帶密封圈、針閥、氣路接頭） |
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